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安全激光掃描儀,安全激光掃描儀

直方向安裝VT5系列時的值。
*2 環境溫度過40℃時，請在相對濕度為40℃85％RH的條件下使用。
*3 符合JIS B3502 IEC61131-2標準
掃描次數：X、Y、Z 各方向10次 (100分鐘)
*3 距座標臺中央?80 x 180 mm 的范圍、
調焦點位置的使用溫度為+23°C±1°C、座標臺上搭載重量為1 kg 以下時， L 為座標臺移動量(mm)
*4 距座標臺中央?20 x 120 mm 的范圍、
調焦點位置的使用溫度為+23°C±1°C、座標臺上搭載重量為1 kg 以下時， L 為座標臺移動量(mm)
座標臺中央?80 mm 的范圍、調焦點位置的使用溫度為+23°C±1°C時
*2 距座標臺中央?20 mm 的范圍
、調焦點位置的使用溫度為+23°C±1°C時
*3 距座標臺中央?80 x 180 mm 的范圍、
調焦點位置的使用溫度為+23°C±1°C、
座標臺上搭載重量為1 kg 以下時， L 為座標臺移動量 (mm)
*4 距座標臺中央?20 x 120 mm 的范圍
、調焦點位置的使用溫度為+23°C±1°C、
座標臺上搭載重量為1 kg 以下時， L 為座標臺移動量 (mm)
*5 測量大高度設定在30 mm 以下時
、測量大高度設定過30 mm 但處于60 mm 以內，
標準探針為±3 μm、大范圍探針為±6 μm
*6 測量大高度設定在30 mm 以下時、
測量大高度設定過30 mm 但處于60 mm 以內，
*2 測量模式/ 測量品質/ 鏡頭倍率的組合中，
取快的一組組合時。線掃描的情況下，
測量間距小于0.1 μm 時。
*3 在環境溫度20±2℃下使用20 倍以上的
鏡頭測量標準樣品(基準尺寸)時。

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